Parameter Test Probe Card

Exponat: Advanced Mask Technology Center GmbH & Co.KG Dresden / GLOBALFOUDNRIES Dresden (Cool Silicon Partner)

Um zu testen, ob während der Herstellung der Millionen Transistoren auf dem Wafer keine technologischen Fehler aufgetreten sind, gruppiert man einzelne Test-Transistoren in Arealen, die später sowieso abgeschnitten werden. In diesen sogenannten Ritzgräben setzen die Nadeln der Probe Card auf. Ihre Spitzen aus Wolfram sind nur 24 Mikrometer dünn und leiten das elektrische Testsignal zum Transistor. Aus diesen Messungen können Rückschlüsse aüber die zu erwartende Ausbeute gezogen werden.